华海清科(688120):深化"装备+服务"平台化布局,核心新品产业化进展顺利-公司跟踪报告

#核心观点：

   1、华海清科践行“装备+服务”的平台化发展战略，CMP设备具有较高市占率。

   2、公司减薄机和低能大束流离子注入装备均实现多台验收，12英寸超精密晶圆减薄机Versatile–GP300已实现多台验收。

   3、公司拟将晶圆再生产能扩充至60万片/月，首期建设产能为20万片/月，首期投资预计不超5亿元人民币。

   4、公司已形成覆盖大硅片、化合物半导体等多个制造领域的系列清洗装备布局。

   5、应用于Cu、Al、W、Co等金属制程的薄膜厚度测量装备已发往多家客户验证，已实现小批量出货。

   6、12英寸晶圆边缘抛光装备已发往多家客户进行验证，并已在存储芯片、先进封装等关键制程中得到应用。

  

   #盈利预测与评级：

   预计公司2025-2027年营收分别为45.03/58.60/73.60亿元，归母净利润分别为12.90/16.82/21.21亿元。维持“强烈推荐”评级。

  

   #风险提示：

   下游终端市场需求不及预期风险，新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，产能扩充进度不及预期的风险，系统性风险等。

  

   本报告摘要不保证其100%准确性，如有疑问，请阅读正文文件。